工業(yè)型原子力顯微鏡

工業(yè)型原子力顯微鏡 
FM-NanoviewLS-AFM
◆ 實(shí)現(xiàn)樣品保持不動(dòng)，探針移動(dòng)掃描的原子力顯微鏡；
◆ 采用閉環(huán)三軸獨(dú)立壓電平移式掃描器，大范圍高精度掃描；
◆ 樣品尺寸、重量基本不受限制，特別適合集成電路晶圓等超大樣品檢測(cè)；
◆ 龍門(mén)架式掃描頭設(shè)計(jì)，大理石底座，真空吸附式載物臺(tái)；
◆ 超大行程二維電動(dòng)樣品移動(dòng)臺(tái)，快速選擇感興趣的樣品區(qū)域；
◆ 高倍光學(xué)定位系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)探針

工業(yè)型原子力顯微鏡技術(shù)參數(shù)

◆ 基本工作模式：接觸、輕敲、F-Z力曲線測(cè)量、RMS-Z曲線測(cè)量、摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力和靜電力
◆ 選配工作模式：Profile線快速測(cè)量模式
◆ 最大樣品尺寸：Φ≥300mm，H≥50mm
◆ 閉環(huán)掃描范圍：XY向100um，Z向10um
◆ 閉環(huán)掃描分辨率：XY向0.2nm，Z向0.05nm
◆ 樣品移動(dòng)范圍：300mm×300mm
◆ 輔助光學(xué)定位：10X物鏡，光學(xué)分辨率1um（可選配20X，光學(xué)分辨率0.8um）
◆ 氣動(dòng)式減震臺(tái)，減震頻率0.5Hz
◆ 噪音水平：＜0.1nm
◆ 掃描速率0.6Hz~4.34Hz，掃描角度0~360°
◆ 掃描控制：XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A
◆ 數(shù)據(jù)采樣：14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣
◆ 反饋方式：DSP數(shù)字反饋
◆ 反饋采樣速率：64.0KHz
◆ 通信接口：USB2.0/3.0
◆ 運(yùn)行環(huán)境：WindowsXP/7/8/10操作系統(tǒng)